DI（Device Information）ページに64-bitのユニークなIDが書かれていますので、こちらがご使用頂けると思います。
下図はEFM32GGリファレンスマニュアル5.6 Device Information (DI) Pageからの抜粋ですが、UNIQUE_0およびUNIQUE_1の2つのレジスタが該当します。UNIQUE_0には製造時のタイムスタンプが、UNIQUE_1には製造場所の情報が登録されています。

Silicon Labsのコミュニティサイトにも説明がありますので、併せてご確認ください。