EFM32は温度センサ（temperature sensor）を内蔵しており、内蔵ADCを使用して温度を測定することが可能です。
しかしながら、主に下記の理由から、サーミスタに比べると使用用途が限定されます。

• 測定対象はEFM32の温度である
• 温度センサの精度（Min/Max）が規定されていない

主な使用例としては、高温時に冷却ファンを起動させたり、高温時にシステムの処理負荷を軽減させたり（システムとしての動作速度を落とすなど）が考えられます。またアプリケーションノートAN0006（Tickless Calendar with Temperature Compensation）では、RTCの温度偏差を動的に矯正するという用途でも使用しています。

標準的な部品の特性については、データシートに 温度 vs ADC値のカーブが掲載されています。下図はEFM32GG990データシートからの抜粋です。

デバイス個々で、異なるオフセット誤差とスロープ（傾き）誤差を持っている訳ですが、1-pointキャリブレーション（ある1つの温度でキャリブレーションを行う）でオフセット誤差を、2-pointキャリブレーション（ある2つの温度でキャリブレーションを行う）でスロープ誤差を、ある程度抑え込むことができます。

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