Analog Devices MEMS加速度センサー : ADXL327のNCピンは、全てGNDに接続すべきですか?
センサーとMEMS
英文のデータシート内の「Table 3. Pin Function Descriptions」を参照ください。
EP(Exposed pad)については、Not internally connected.と明記があるのでGND接続でも問題ございません。
他のNC端子には、明記がありませんので、内部接続があるものと考えられます。実装時には、データシートの指示通りOpen処理でお願いします。
9ピンは、No Connect (or Optionally Ground)の指示ですので、GNDに接続頂いても問題ありません。