製品概要
医療と産業機器向けマスフローソリューションデザインの多くの実績から、センシリオンのマスフローコントローラーは広いダイナミックレンジに加え、高速かつ正確なガスフロー制御実現します。
センサー素子と信号処理回路が1つのCMOSチップ上に統合し、このシステムはCMOSens®技術として特許を取得してます。熱式測定原理を使用して流量を測定する場合、アナログ制御回路を介して流量を効率的に制御できます。この特許技術によりセンシリオンのマスフローコントローラーは優れた性能を実現します。
SFCシリーズ製品ラインナップ
SFC5300
マスフローコントローラー「SFC5300」は、長期使用可能な製品です。「SFC5300」はコンパクトサイズかつ優れた精度で質量流量を広いダイナミックレンジで測定および制御できます。「SFC5300」の本体は金属製です。マスフローコントローラー「SFC5300」の流体接続にはダウンマウント接続を用意してます。インターフェースには2つのデジタルインターフェイスを用意しています。
ー製品の特長
- ・最低流量 (< 1 sccm) で高い精度
- ・優れた長期安定性と信頼性
- ・広いダイナミックレンジ (ターンダウン比 1000:1)
- ・マルチガス機能
- ・CMOSens®技術による魅力的な価格性能比
- ・コンパクトサイズ
SFC5400
マスフローコントローラー「SFC5400」は、長期使用可能な製品です。「SFC5400」はコンパクトサイズかつ優れた精度で質量流量を広いダイナミックレンジで測定および制御できます。「SFC5400」の本体は金属製です。さらに、様々なインターフェースと様々な流体接続が可能で、50sccm~200slmの最大流量を測定できます。
ー製品の特長
- ・超高速ガス流量制御 (セトリングタイム < 100 ms)
- ・最低流量 (< 1 sccm) で高い精度
- ・優れた長期安定性と信頼性
- ・広いダイナミックレンジ (ターンダウン比 1000:1)
- ・マルチガス機能
- ・CMOSens®技術による魅力的な価格性能比
- ・デジタルおよびアナログインターフェース
- ・ご要望によりカスタマイズ可能