製品概要

医療と産業機器向けマスフローソリューションデザインの多くの実績から、センシリオンのマスフローメーターは広いダイナミックレンジに加え、高速、高精度、ガス流量の効率的な測定を可能にし、高信頼性、長期安定性を実現します。

全てのマスフローメーターのセンシング部は、MEMSに基づいた熱量マイクロセンサーで、熱式測定の原理によりガス流量を測定します。
センサー素子と信号処理回路が1つのCMOSチップ上に統合し、このシステムはCMOSens®技術として特許を取得してます。

この特許技術によりセンシリオンのマスフローメーターは優れた性能と魅力的なコストを実現にしました。

センシリオンは様々なアプリケーション向けのマスフローメーターをご用意しています。

製品ラインナップ

• SFM3000
• ・低圧力損失: < 6mbar @ 200sml
• ・流量範囲: ±200 slm (双方向)
• ・精度： 測定値に対して 1.5%
• ・超高速応答
• ・デジタル校正、温度補償
• ・デジタルインターフェース (I²C)

• SFM3100
• ・流量範囲： -24 ~ +240 slm
• ・対測定値精度： 5% (標準)
• ・超高速応答
• ・低圧力損失： < 16mbar @ 200slm (標準)
• ・逆流およびエラー検知
• ・アナログ出力
• ・全数校正および温度補償

• SFM3200
• ・流量範囲: 最大 250 slm (双方向)
• ・小流量での優れた性能
• ・低圧力損失
• ・高速信号処理時間
• ・内部で線形化および温度補償された出力信号

• SFM3300
• ・加圧蒸気滅菌および洗浄可能
• ・流量範囲: ±250 slm　(双方向)
• ・小さなデッドスペース: < 10　ml
• ・様々なインレットコンディションへ対応可能
• ・高速信号処理時間と優れた堅牢性
• ・呼吸器系標準サイズのインレットコーン
• ・脱着可能な信号コネクタ機構
• ・ディスポーザブル版あり

• SFM3400
• ・未熟児と小児用アプリケーション向け
• ・リユース版/ディスポーザブル版
• ・流量範囲: ±33 slm (双方向)
• ・完全校正済み、再校正必要なし
• ・高速サンプリング時間 (0.5 ms)
• ・< 1 ml　のデッドスペース
• ・標準呼吸回路への空気圧接続向け医療コーン

• SFM4100
• ・測定流量：　0 ~ 20　l/min
• ・広いダイナミックレンジ　(1:500)
• ・デジタルインターフェース (I²C)
• ・完全校正、温度補償
• ・マルチガス設定オプション

• SFM4200
• ・流量0-160 slm
• ・優れた耐圧性(最大8 barで動作可能)
• ・0.5 msという高速の信号処理
• ・デジタル式I2C 2線インターフェース
• ・線形化した温度補償性のある測定

• SFM4300
• ・高精度かつ高感度 (特に小流量の場合)
• ・流量範囲：0～20 slm
• ・非常に高い圧力耐性 (6 barまで)
• ・複数のガスオプションあり
• ・完全校正済みかつ温度補償
• ・デジタルI²Cインターフェース
• ・機器接続：ダウンマウント、Legris、Oリング

• SFM5400
• ・小流量 (< 1 sccm) で高い精度
• ・優れた精度/繰返し精度
• ・広いダイナミックレンジ
• ・多様なガス種への対応とガス認識
• ・デジタル(I²C)とアナログインターフェース
• ・継手オプションあり

マスフローメーター向け評価キット

評価キット構成図

Sensor Bridge

SEK-SensorBridgeを使用すれば、適切なセンシリオンセンサーをコンピューターに接続できます。このツールは、SEK-ControlCenterソフトウェアと密に連携しています。SEK-SensorBridgeには、センサーを接続できるポートが2つあります。センサーのI2Cアドレスが異なっている場合、各ポートに複数のセンサーを接続できます。

SEK-SFMxxxx

・マスフローメーター評価キット

　　SFM3000

・マスフローメーター評価キット

　　SFM3200

・マスフローメーター評価キット

　　SFM4100

・マスフローメーター評価キット

　　SFM4200

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